近日，我院潘锋教授、吴忠振特聘研究员领导的等离子装备研究小组发表的论文《高压耦合高功率脉冲磁控溅射的增强放电效应》被评选为《物理学报》2014年第63卷第18期的优秀论文。
文章主要研究了一种简单结构的金属等离子体源备选—高功率脉冲磁控溅射源(HPPMS) 的放电特性，采用等离子体发射光谱仪探索了不同的耦合高压对HPPMS放电靶电流特性和等离子体特性的作用。发现耦合高压对HPPMS放电有明显的促进作用，相同靶电压下的放电强度大幅增加，相对于金属放电，耦合高压对气体放电的促进作用更加明显，但在自溅射为主的高压放电阶段对金属放电的促进作用明显增强。讨论了耦合高压对HPPMS 放电增强机制，发现耦合高压自辉光放电、耦合高压和HPPMS 电压构成双向负压形成的空心阴极效应，以及耦合高压鞘层改善的双极扩散效应都对HPPMS 放电的增强有明显作用。
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北京大学深圳研究生院新材料学院装备研究小组介绍：北大深圳研究生院新材料学院新型镀膜装备及应用实验室由院长潘锋教授领衔，吴忠振特聘研究员为常务负责人，主要从事以等离子体为基础的材料表面改性与功能薄膜沉积技术、装备、模拟与工艺应用等方面的研究工作，尤其是以高功率脉冲磁控溅射、离子注入与沉积技术为主的物理气相沉积装备与工艺开发。目前课题涉及新型金属离子源设计开发、材料表面改性与硬质涂层开发、薄膜太阳能电池制备与全固态薄膜锂离子电池研究等方面。
